合肥领航微系统集成取得易使用的等离子刻蚀机气体加热装置专利 后期维护便捷

金融界2025年8月23日消息，国家知识产权局信息显示，合肥领航微系统集成有限公司取得一项名为“一种易使用的等离子刻蚀机气体加热装置”的专利，授权公告号CN223260546U，申请日期为2024年08月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种易使用的等离子刻蚀机气体加热装置，包括：壳体，所述壳体上设置有进风口；第一电加热板；第二电加热板，与所述第一电加热板并排安装于壳体内侧；导向板，设置于第一电加热板与第二电加热板之间，且所述导向板内侧开始有对在气体进行导向的特斯拉阀流道；第二分散板，可拆卸安装于壳体内侧底端；通过设置有第一电加热板、第二电加热板、导向板及特斯拉阀流道，避免在加热气体时，需要多个U型加热管，后期维护频率高，本装置仅需第一电加热板及第二电加热板即可对气体进行加热，结构简单，后期维护便捷，且在加热时能够很好的通过特斯拉阀流道降低气体的逆向回流，避免重复加热，导致的热风受热不均匀。

天眼查资料显示，合肥领航微系统集成有限公司，成立于2022年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本754.299万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥领航微系统集成有限公司参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息94条，此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自金融界